Babu, S. V
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자료유형 | 도서 |
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서명/저자사항 | Advances in chemical mechanical planarization (CMP)/ edited by Suryadevara Babu. |
개인저자 | Babu, S. V, |
발행사항 | Waltham, MA: Woodhead Publishing, c2016. |
형태사항 | xxiii, 511 p.: ill., charts.; 24 cm. |
총서사항 | Woodhead publishing series in electronic and optical materials;number 86 |
ISBN | 9780081001653 (hbk.) |
서지주기 | Includes bibliographical references From the end of every unit and index. |
일반주제명 | Chemical mechanical planarization. Nanoelectronics. Microelectronics. |
분류기호 | 569.4 |
언어 | 영어 |
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