Sheats, James R.
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자료유형 | 도서 |
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서명/저자사항 | Microlithography : science and technology/ edited by James R. Sheats, Bruce W. Smith. |
개인저자 | Sheats, James R.,1948- Smith, Bruce W.,1959- |
발행사항 | New York: Marcel Dekker, c1998. |
형태사항 | xii, 780 p.: ill.; 24 cm. |
가격정보 | |
ISBN | 0824799534 |
서지주기 | Includes bibliographical references and index. |
일반주제명 | Microlithography -- Industrial applications. Integrated circuits -- Masks. Metal oxide semiconductors, Complementary -- Design and construction. Manufacturing processes. |
분류기호 | 569.31 |
언어 | 영어 |
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