Rai-Choudhury, P
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자료유형 | 도서 |
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서명/저자사항 | Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. 2 , Micromachining and microfabrication/ P. Rai-Choudhury, editor. |
개인저자 | Rai-Choudhury, P. |
발행사항 | Bellingham, Wash., USA: SPIE Optical Engineering Press ; London, UK: Institution of Electrical Engineers, c1997. |
형태사항 | 1 v.: ill.; 26 cm. |
총서사항 | IEE materials and devices series;12B |
가격정보 | |
ISBN | 0819423793 |
서지주기 | Includes bibliographical references and indexes. |
일반주제명 | Microlithography. Micromachining. Microfabrication. |
분류기호 | 580 |
언어 | 영어 |
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