Nonogaki, Saburo
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자료유형 | 도서 |
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서명/저자사항 | Microlithography fundamentals in semiconductor devices and fabrication technology/ Saburo Nonogaki, Takumi Ueno, Toshio Ito. |
개인저자 | Nonogaki, Saburo,1930- Ueno, Takumi,1951- Ito, Toshio,1952- |
발행사항 | New York: Marcel Dekker, c1998. |
형태사항 | v, 327 p.: ill.; 24 cm. |
가격정보 | |
ISBN | 0824799518 |
서지주기 | Includes bibliographical references and index. |
일반주제명 | Semiconductors -- Design and construction. Microlithography -- Industrial applications. Manufacturing processes. Photoresists. |
분류기호 | 569.3 |
언어 | 영어 |
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