Tauber, Richard N
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자료유형 | 도서 |
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서명/저자사항 | Silicon processing for the VLSI era / Stanley Wolf and Richard N. Tauber. 1: Process technology |
개인저자 | Tauber, Richard N. Wolf, Stanley, 1943- |
발행사항 | Sunset Beach, Calif. : Lattice Press, c1986-<c1990 > |
형태사항 | 660 p. : ill. ; 25 cm. |
ISBN | 0961672137 (cover : v. 1) |
서지주기 | Includes bibliographies and indexes. |
일반주제명 | Integrated circuits -- Very large scale integration. Silicon. |
분류기호 | 569.45 |
언어 | 영어 |
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